雙數字投影,無陰影,精度高
採用平面擬合,完美應對基板彎曲,可適應柔性基板
通過高低頻率光柵結合,有效提高了檢測範圍。
可圖形化的提供品質趨勢分佈,提前預判缺陷。並提前找出造成趨勢的潛在因素,及時調整,控制趨勢蔓延。
設備類型: | 線上全自動3D SPI |
特 性: | 3D高精度輪廓測量技術完美應用 |
適用基板: | 50mm x 70mm - 510mm x 460mm |
基板厚度: |
0.6mm - 6.0mm 解析度:10μm - 15μm (可調) |
高度測量精度: | 1μm |
外形尺寸: | W1080 x D1300 x H1850(mm) |
重量: | 740KG |
Mirage-D: | 全自動線上雙軌3D SPI |
外形尺寸: | W1160 x D1470 x H1875(mm) |